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Versum 在 SEMICON China 推出全新 GasSTAR 大宗特殊氣體系統

亞利桑納州坦佩(2019 年 3 月 11 日) ‒ Versum Materials, Inc. (紐約證券交易所交易代碼:VSM)(半導體產業的領先材料供應商)今天宣佈將在全球最大的半導體展會 SEMICON China 上推出其全新的 GasSTAR™ 大宗特殊氣體系統 (BSGS)。活動將在2019年3月20日 - 22日,於中國上海新國際博覽中心舉行。

GasStar BSGS 系統目前僅在亞洲提供,提供最大的安全性和可靠性(正常執行時間 99%)、更低的擁有成本、與許多氣體的相容性和靈活的來源、流速可擴展性,最高 1000 slpm(或更高)以及其他眾多優勢。主要系統元件包括基準 TE11 PLC 控制器,用於集成監控和控制、ECC 加熱器/控制器、單或雙線饋電、電路保護以及 JT 加熱器。

參觀 N5 展廳 5343 號展臺的訪客將進一步瞭解公司的下一代 CMP 泥漿、配方清潔和蝕刻產品、超薄電介質和金屬膜前體以及其他輸送系統,包括 Chemguard® Gen III 100-400NT 自動化雙儲存櫃 (DTLR),其設計可最大程度延長正常執行時間,並滿足當今的 FABS 需求。超過 200 種化學品經過了全面的危害評估並被批准用於 CHEMGUARD 系統。

Versum Materials 還擁有由 NuMat Technologies 開發的 ION-X®,用於安全儲存和輸送砷烷、磷烷和三氟化硼等低於大氣壓的摻雜劑氣體。公司將展示最新的先進容器產品,與其客戶密切合作以處理各種分子。

Versum Materials 材料高級副總裁 Edward Shober 稱:「隨著我們走向 2020 年代,Versum 致力於成為可靠且可持續的合作夥伴,透過與中國晶圓廠和半導體製造領域的中國客戶進行跨國合作,支援中國半導體市場的發展。」

Versum Materials 的供應系統和服務高級副總裁 Jeff White 說:「我們不斷推出和提高其他氣體供應設備供應商提供的標準和可選功能。我們在外高橋的全新先進的超高純度氣體供應設備生產設施旨在加快我們對大中華區市場的服務,因為它將使我們能夠在產品消費的地區進行設計和建造。」

關於 Versum Materials
Versum Materials, Inc. (紐約證券交易所交易代碼:VSM) 是下一代化學機械平坦化 (CMP) 研磨液、超薄電介和金屬膜前體、配方清潔和刻蝕產品以及交付設備的全球領先供應商之一,為半導體產業帶來了變革。Versum Materials 在亞洲和北美洲的年度銷售額約為 14 億美元,有 2,300 名員工和 14 個主要工廠。總部設在亞利桑那州的坦佩市。在 2016 年 10 月 1 日獨立成為公司之前,Versum Materials 是 Air Products and Chemicals, Inc. 公司的其中一個部門,營運了三十多年。(紐約證券交易所交易代碼:APD)。

欲知詳情,請瀏覽 https://www.versummaterials.com

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Versum Materials 標誌和 Versum 是 Versum Materials, Inc. 或其附屬公司的註冊商標。

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