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Polyflow 檔案

TYPHOON™ S790 Quartzware 清洗設備 Versum Materials TYPHOON Quartzware 清洗設備是一種獨立系統,設計用於在所有垂直噴霧過程中自動清潔和沖洗 200 或 300mm 的豎爐石英器皿。TYPHOON 提供更快且更清潔的流程,並且使用者成本 (cost-of-ownership)更低。該工具提供兩個具有同步獨立操作的處理室。

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OMNI™ Quartzware 清洗設備 Versum Materials Omni Quartzware清洗設備是一種獨立系統,用於在所有垂直噴霧過程中自動清潔和沖洗 300mm(或更小)的豎爐石英器皿。Omni 具有雙處理室,右處理室中採用專門設計的夾具用於管道和襯套,左處理室中旋轉傳送帶上有多個固定裝置用於所有其他石英配件…

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FX30 FOUP FOSB 清洗機 Versum Materials FX-30 FOUP/FOSB 清潔劑專為 300mm FOUP(前開式統一存儲區)和化石(前開式供應盒)而設計。採用溶液隔離技術,即可在小單元提供卓越的清潔和乾燥效能。

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FLOWMASTER 化學品供應系統 FLOWMASTER®化學研磨液 供應系統供應系統可精確混合和供應 CMP 後沖洗化學品。化學研磨液供應系統整合時,整個工具套件可供應全部的 CMP 化學品溶液。

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FLOWMASTER CMP 研磨液供應系統 我們的 FLOWMASTER®CMP 化學研磨液供應系統始終穩定地混合和供應 CMP 化學研磨液。備援系統和廣泛的分析能力有助於為晶圓提供最均勻和精確的混合濃度。

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