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微機電系統

微機電系統 (MEMS)

可靠的材料,可靠的供應系統。

Versum Materials™ 針對微機電系統 (MEMS) 製造商供應性能穩定、價格低廉的 XeF2。Versum 擁有將近 40 年的氟專長,可隨時成為您的 XeF2供應商。我們提供用於摻雜、蝕刻和薄膜沉積的材料,再加上 GASGUARD® 氣體供應和 CHEMGUARD® 化學品供應系統,全方位滿足您的 MEMS 製造需求。

針對微機電系統 (MEMS) 製造的 XeF2 解決方案
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