打開行動導航

特色產品

GASGUARD eV: 用於電子特種氣體的智慧全廠加熱系統和控制

GASGUARD® eV 溫度控制系統現在具有遠端安裝選項,可確保連續的氣體流量,實現安全性和可靠性。

Versum Materials, Inc. 推出了我們經過重大升級的 GASGUARD eV 溫度控制系統,並增加了遠端安裝控制器選件。該系統提供智慧、先進的加熱系統,並能對需要加熱後才能供應到半導體製造工廠工具的特種氣體進行控制。

全新增強的系統降低了使用者成本、改進執行時間,並通過頂部和遠端安裝選件以及更小的占地面積簡化了故障排除。經過完全認證且符合標準的 eV 型號包括一個電化學壓縮加熱器/控制器和一個附有兩個 700 瓦加熱毯和兩個加熱帶的氣櫃,以容納兩個 A 或 B 尺寸的氣瓶。它還包括一個 GASGUARD AP11 控制器,該控制器提供綜合的監測和控制,並提供具有可選雙電源的單電源饋電。

我們的客戶報告說,GASGUARD eV 溫度控制技術提供了穩定和精確的溫度和壓力控制,加強了比例、積分、微分 (PID) 溫度控制、過熱保護和持續監控。同樣重要的是,我們的系統確保了氣體不間斷流動,沒有溫度峰值和谷值

Versum Materials 銷售的氣體供應系統中有三分之一使用加熱來供應低溫氣體,該公司致力於通過在任何需要的地方採用溫度控制技術來提高系統的靈活性。

超過 60 年的經驗為半導體、薄膜電晶體 (TFT) LCD 和太陽能產業的 GASGUARD 氣體和化學品供應系統提供支援服務。這些供應系統包括各種設定的自動、半自動和手動,從單源到多氣瓶源和吹掃系統,並可處理各種有害氣體:易燃、自燃、腐蝕性、毒性、劇毒氣體均不例外,均可滿足您所有的製造需求。

基於 30 年來製造和提供一些 30,000 先進材料和供應系統的傳統,Versum Materials 公司將持續設計和開發更安全、更可靠的高純度氣體和液體分配的供應設備。

Choose Your Location
Powered by Translations.com GlobalLink OneLink Software