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電子材料供應系統與服務

可靠、安全的電子材料供應系統與服務

提高執行時間,讓人放心、安心

晶圓廠的氣體和化學品供應系統與服務

使用我們的供應系統與服務,為您的晶圓廠設備安全、可靠地供應氣體和化學品。Versum Materials 的設備解決方案在氣體和化學品安全供應方面有數十年經驗。我們的GASGUARD® CHEMGUARD®供應系統已被公認為具有成本效益,全廠氣體和化學品供應的行業標準。

  • GASGUARD® 氣體供應系統
  • CHEMGUARD® 化學品供應系統
  • FLOWMASTER® 化學機械研磨液供應系統
  • VAPORGUARD® 自動溫控系統

服務

我們的 MEGASYS® 氣體和化學品管理服務,提供現場日常管理氣體和化學品供應,均是由 Versum Materials 熟練的技工提供此項服務。好處包括:

  • 提高製程的可靠度
  • 提升晶圓的良率
  • 零材料供應斷料事故

MEGASYS® 為您氣體和化學品供應的現場管理服務,讓您專注於貴公司最擅長的生產工作。

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