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產品

OMNI™ Quartzware 清洗設備

電子材料供應系統與服務

Versum Materials Omni Quartzware清洗設備是一種獨立系統,用於在所有垂直噴霧過程中自動清潔和沖洗 300mm(或更小)的豎爐石英器皿。Omni 具有雙處理室,右處理室中採用專門設計的夾具用於管道和襯套,左處理室中旋轉傳送帶上有多個固定裝置用於所有其他石英配件。使用者程式設計允許操作員選擇管道和襯套的內部和外部噴霧蝕刻,以及用於配件的噴霧或注射清潔。

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