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富含同位素的 BF3(三氟化硼)ION-X® 摻雜劑氣體儲存和供應系統

先進材料,電子材料,製程材料

Versum Materials 和 NuMat Technologies 宣佈成立全球聯盟,為我們全球的客戶提供 ION-X 低於大氣壓的摻雜劑氣體儲存和供應系統解決方案。使用 ION-X 用於安全儲存和供應砷烷、磷烷和三氟化硼等低於大氣壓的摻雜劑氣體。ION-X® 憑藉其金屬有機框架(MOF),可在低於大氣層的情況下,選擇性吸附、儲存和安全供應超高純度氣體。

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