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GASGUARD® AP11 控制器自動恢復/自動重新啟動

電子材料供應系統與服務

自動恢復系統 (ARS) 主要目標是在意外事件中維持安全的氣體供應。保持製程氣體系統運作或返回至原始設定;不會覆蓋安全警報。

GASGUARD AP11 是唯一具有第二微處理器作為標準設備的市售控制器,配備 ARS 功能。

 

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