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CHEMGUARD® GENIII 500 具有溶劑清洗功能的自動化學品供應系統

電子材料供應系統與服務

我們的 CHEMGUARD Gen III 500 是一種雙瓶儲罐 (DTLR) 系統,具有溶劑清洗功能並適用於低揮發性化學品。雙前驅物罐槽實現100%的正常運行時間,以滿足當今晶圓製造廠的需求。多年的經驗融入到我們所有的高純度化學品供應設備中,確保以安全和經濟高效的方式運輸超高純度 (UHP) 液體。

CHEMGUARD 的尺寸進一步縮小,僅為 457mm (18 in.) x 533 mm (21 in.),可以直接相鄰地放置多個儲櫃。這最大限度地提高了您在晶圓廠內的可用地面空間使用率,同時降低了排氣要求,以實現更低的使用者成本。每個設備都是全自動的,包括一個彩色觸控式螢幕的微處理器控制器。第三代控制器透過自動監控來優化容器更換操作,確保從尾纖連接處去除化學品。標準化的模組化設計可實現客製化、易於維護和未來擴展用途。每種 CHEMGUARD 型號都融入了測試和多年的經驗,以確保向工具提供可靠的化學品供應,並且不會停機。

CHEMGUARD 系列高純度化學品供應設備不僅僅是晶圓廠中的獨立設備,它被設計為直接連接到大多數 OEM 製程工具,憑藉設計用於超高純度液體的晶圓全廠的分配系統而變得更加完善。

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