打開行動導航

電子材料供應系統與服務

GASGUARD® AP11 控制器自動恢復/自動重新啟動 自動恢復系統 (ARS) 主要目標是在意外事件中維持安全的氣體供應。保持製程氣體系統運作或返回至原始設定;不會覆蓋安全警報。GASGUARD AP11 是唯一具有第二微處理器作為標準設備的市售控制器,配備 ARS 功能。  

瀏覽產品

GASGUARD® BulkGuard™ 大宗氣體系統 Versum Materials 新型大宗氣體系統:GasGuard® BulkGuard 大宗氣體系統可提供最高的安全性和可靠性(100% 正常運作時間)、更低的使用者成本、與許多氣體的相容性和靈活的來源、流速可擴展性為最高 1000 slpm 和其他優勢。它提供最先進的全廠熱源,控制在供應到工具之前需要加熱的電子特殊氣體。Versum……

瀏覽產品

適用於 Y 型汽缸的 GASGUARD® 大量 eV 溫度控制系統 適用於加熱氣體的最新一代智慧製造技術-降低使用者成本 (cost-of-ownership)、提供更高的流量、進一步提高安全性和可靠性。適用於加熱 Y 型汽缸的獨立式 GASGUARD 大量 eV 溫度控制系統可以在兩個階段中提供:首先是 ECC 控制器,其次是新加熱毯。可以進行修改,以便讓系統…

瀏覽產品

GASGUARD® 主動控制階段 1 在零漂移的不同生產條件下,為高蒸汽壓力氣體維持、重複和穩定壓力。我們的 GasGuard 主動階段 I 技術現在允許半導體晶圓廠在零漂移供應到工具的過程中,控制摻雜劑氣體、吹掃氣體和高壓鹵化碳(NF3、矽烷、N2O、CO2、CF4 等)等高蒸汽壓力氣體的壓力,從而實現更高的精度…

瀏覽產品

GASGUARD® LED 照明 – 機櫃和控制器內的固態 LED 照明 GasGuard 氣體櫃和控制器內的 LED 照明,可改善維護和故障排除過程中的使用者體驗。此選項僅適用於 GASGUARD AP11 控制器。自動關閉的可選時間值為 31-99 分鐘。標準設定是 99 分鐘。LED 照明主要優點:提高檢查可見性、氣缸更換、維護和操作長使用壽命高能效獨立 –…

瀏覽產品

適用於 GASGUARD® AP11/Gen III 控制器的本地趨勢軟體 「本地趨勢」軟體選項為操作員提供類比歷史記錄。此軟體選項適用於 Versum Materials 的任何 AP11/Gen III 控制器。此功能可以加裝安裝在控制器中的程式設計軟體加密器,並進行韌體升級。允許使用者跟蹤任何隨著時間變化的類比變數,如供應壓力、氣缸壓力或溫度。時間追蹤…

瀏覽產品

S-1088 排放管沖洗站 Versum Materials S-1088 型產品是一款獨立全自動系統,設計用於清潔不銹鋼排氣管和其他帶有使用者可程式設計 DIW 和酸性混合物的晶圓廠零件。

瀏覽產品

S-1702 蝕刻零件清潔劑 Versum Materials S-1702 型產品是一款獨立全自動系統,設計用於酸蝕刻和沖洗石英室、陶瓷環、噴頭和其他使用精確預程式設計配方的零件。使用者可選擇酸噴霧和噴霧沖洗迴圈,以提供均勻的蝕刻和完全沖洗。

瀏覽產品

S-1087 排放工作站 Versum Materials S-1087 排放工作站是一個獨立手動工作站,設計用於在排放環境中執行零件清潔和沖洗。水槽配有兩個 (2) 固定噴霧棒,可透過按下「噴霧棒」按鈕進行操作。氣動式排水閥將允許操作員填充或傾倒…

瀏覽產品

CHEMGUARD® Gen III CG350 型化學品自動加藥系統帶選配的 eV 加熱功能 全新:第三代 CHEMGUARD 來了!CHEMGUARD CG350 是一款雙罐液體填充 (DTLR) 機櫃,旨在最大限度延長正常執行時間,可滿足當今晶圓製造廠的苛刻要求。CHEMGUARD 的尺寸進一步縮小,僅為 457mm (18 in.) x 533 mm (21 in.),可以直接相鄰地放置多個儲櫃。這最大程度提高……

瀏覽產品

Choose Your Location
Powered by Translations.com GlobalLink OneLink Software