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GASGUARD® AP11 控制器自動恢復/自動重新啟動自動恢復系統 (ARS) 主要目標是在意外事件中維持安全的氣體供應。保持製程氣體系統運作或返回至原始設定;不會覆蓋安全警報。GASGUARD AP11 是唯一具有第二微處理器作為標準設備的市售控制器,配備 ARS 功能。  

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GASGUARD® BulkGuard™ 大宗氣體系統Versum Materials 新型大宗氣體系統:GasGuard® BulkGuard 大宗氣體系統可提供最高的安全性和可靠性(100% 正常運作時間)、更低的使用者成本、與許多氣體的相容性和靈活的來源、流速可擴展性為最高 1000 slpm 和其他優勢。它提供最先進的全廠熱源,控制在供應到工具之前需要加熱的電子特殊氣體。Versum……

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Dynastrip™ DL88 多功能光刻膠去除劑DynaStrip DL88 是一款獨特配方的光刻膠去除產品,專為晶片級封裝 (WLP) 應用而設計,其中包括倒裝晶片凸點電極、再分配和晶片級 CSP。

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Flipstrip 多功能光刻膠去除劑FlipStrip 是一種獨特配方的化學品,專門用於去除用於倒裝晶片凸點電極應用的加工過的光刻膠。它在電鍍焊料和原位粘貼工藝中都有效。

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Dynastrip™ AP7900A 多功能光刻膠去除劑Dynastrip AP7900A 多功能光刻膠去除劑是一款獨特配方的光刻膠去除劑,專門設計用於剝離晶片級封裝 (WLP) 應用(包括無鉛焊料凸點電極、µ 凸點電極和銅柱工藝)中使用的厚抗蝕劑。

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Dynastrip™ 7700 多功能光刻膠去除劑Dynastrip 7700 是一款獨特配方的光刻膠去除劑,專門設計用於去除晶片級包裝 (WLP)(包括無鉛焊料凸點電極、m 凸點電極和銅柱工藝)中使用的厚抗蝕劑(乾膜或液體)。

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適用於 Y 型汽缸的 GASGUARD® 大量 eV 溫度控制系統適用於加熱氣體的最新一代智慧製造技術-降低使用者成本 (cost-of-ownership)、提供更高的流量、進一步提高安全性和可靠性。適用於加熱 Y 型汽缸的獨立式 GASGUARD 大量 eV 溫度控制系統可以在兩個階段中提供:首先是 ECC 控制器,其次是新加熱毯。可以進行修改,以便讓系統…

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GASGUARD® 主動控制階段 1在零漂移的不同生產條件下,為高蒸汽壓力氣體維持、重複和穩定壓力。我們的 GasGuard 主動階段 I 技術現在允許半導體晶圓廠在零漂移供應到工具的過程中,控制摻雜劑氣體、吹掃氣體和高壓鹵化碳(NF3、矽烷、N2O、CO2、CF4 等)等高蒸汽壓力氣體的壓力,從而實現更高的精度…

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GASGUARD® LED 照明 – 機櫃和控制器內的固態 LED 照明GasGuard 氣體櫃和控制器內的 LED 照明,可改善維護和故障排除過程中的使用者體驗。此選項僅適用於 GASGUARD AP11 控制器。自動關閉的可選時間值為 31-99 分鐘。標準設定是 99 分鐘。LED 照明主要優點:提高檢查可見性、氣缸更換、維護和操作長使用壽命高能效獨立 –…

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適用於 GASGUARD® AP11/Gen III 控制器的本地趨勢軟體「本地趨勢」軟體選項為操作員提供類比歷史記錄。此軟體選項適用於 Versum Materials 的任何 AP11/Gen III 控制器。此功能可以加裝安裝在控制器中的程式設計軟體加密器,並進行韌體升級。允許使用者跟蹤任何隨著時間變化的類比變數,如供應壓力、氣缸壓力或溫度。時間追蹤…

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